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  • TESCOM? 12 系列無彈簧無螺紋調(diào)壓器

    12 系列是一種微型超高純度工業(yè)氣體 （IGS）/VCR? 減壓型調(diào)壓器。 12 系列提供 5 Ra 或 10 Ra 微英寸的光潔度，采用束縛閥膜以及內(nèi)部無彈簧和無螺紋的設(shè)計(jì)。 進(jìn)口壓力為 150 psig / 10.3 bar，出口壓力為 250 mm Hg-15、30、60、100 psig / 250 mm Hg-1.0、2.1、4.1、6.9 bar，流速可達(dá) 120 SLPM。 非常適合用于 OEM 工具、氣箱和低壓氣瓶柜。



  • 特點(diǎn)
  • 技術(shù)參數(shù)
  • 文檔與圖紙
  • 適用于高級(jí) OEM 氣體系統(tǒng)的理想產(chǎn)品
  • 高靈敏度壓力控制增強(qiáng)質(zhì)量流量控制器 （MFC） 性能
  • 適用范圍廣，性能優(yōu)越
  • 流量：2 SCFM 至 120 SLPM
  • 在微型元件中提供卓越的壓降和重復(fù)性
  • 閥膜與閥體之間采用金屬對(duì)金屬密封，提供一流的密封性
  • 內(nèi)部表面光潔度為 10 Ra 或 5 Ra 微英寸
  • 符合 SEMI F19 和 SEMI 模塊化接口規(guī)格
  • 額定壓力
    最大進(jìn)口壓力：
    150 psig / 10.3 bar
    最大出口壓力：
    250 mm Hg-15 psig / 250 mm Hg-1.0 bar
    0-30、0-60、0-100 psig / 0-2.1、0-4.1、0-6.9 bar
  • 材質(zhì)
    閥體：316L VAR 不銹鋼
    閥膜：Hastelloy®
    閥座：PCTFE
    閥桿：Hastelloy®
    其他部件材質(zhì)：316L VAR 不銹鋼
  • 工作溫度
    -40°F 至 140°F / -40°C 至 60°C
  • 連接件
    焊接：1/4" VCR® 或管接頭
    表面安裝：1.125" 或 1.50" 占用空間
  • 流通能力
    標(biāo)準(zhǔn)：Cv = 0.04
    高流量：Cv = 0.08
  • 重量
    VCR®、IGS：0.60 lb / 0.3 kg
    A 型：1.08 lb / 0.5 kg