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  • TESCOM? 64-3600 系列高靈敏度調(diào)壓器

    64-3600 系列超高純度、高靈敏度減壓型調(diào)壓器提供低壓降、束縛閥膜設(shè)計(jì)，具備 10 Ra/0.25 微米表面光潔度以及可選的 Hastelloy? 閥內(nèi)件。進(jìn)口壓力為 600 或 3500 psig（41.4 bar 或 241 bar），出口壓力可高達(dá) 150 psig (10.3 bar)。非常適合用于 1/4" 使用點(diǎn)、氣瓶柜、半導(dǎo)體制造和閥箱應(yīng)用。



  • 特點(diǎn)
  • 技術(shù)參數(shù)
  • 文檔與圖紙
  • 內(nèi)部表面光潔度為 10 Ra 微英寸/0.25 微米
  • 閥膜與閥體之間采用金屬對(duì)金屬密封，提供一流的密封性
  • 內(nèi)部經(jīng)全面電解拋光處理
  • 旨在減少半導(dǎo)體氣體系統(tǒng)中的壓力波動(dòng)
  • 滿足嚴(yán)苛的半導(dǎo)體行業(yè)的使用點(diǎn)和
  • 氣瓶應(yīng)用要求
  • 壓力額定值
    最大進(jìn)口壓力：600 或 3500 psig / 41.4 或 241 bar
    出口壓力范圍：30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar
  • 閥體材質(zhì)
    經(jīng)電解拋光的 316L 不銹鋼或 316L VAR 不銹鋼
  • 閥膜
    Hastelloy®
  • 閥座
    PCTFE、Teflon PFA® 或 Vespel®
  • 閥桿和閥彈簧
    316 不銹鋼
  • 其他部件
    316 不銹鋼或 Hastelloy®
  • 工作溫度
    Teflon® PFA 閥座：-40 至 71°C/-40 至 160°F
    Vespel® 閥座：-40 至 177°C/-40 至 350°F
    PCTFE 閥座：-40 至 60°C/-40 至 140°F
  • 端口尺寸和類(lèi)型
    1/4、1/2
    外螺紋旋轉(zhuǎn)、內(nèi)螺紋旋轉(zhuǎn)、外螺紋固定、HPIC
    1/4 管接頭
  • 流通能力
    Cv = 0.15 或 0.06
  • 重量
    2 lb / 0.9 kg