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TESCOM? 64-3600 系列高靈敏度調(diào)壓器

64-3600 系列超高純度、高靈敏度減壓型調(diào)壓器提供低壓降、束縛閥膜設(shè)計(jì)，具備 10 Ra/0.25 微米表面光潔度以及可選的 Hastelloy? 閥內(nèi)件。進(jìn)口壓力為 600 或 3500 psig（41.4 bar 或 241 bar），出口壓力可高達(dá) 150 psig (10.3 bar)。非常適合用于 1/4" 使用點(diǎn)、氣瓶柜、半導(dǎo)體制造和閥箱應(yīng)用。

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特點(diǎn)
技術(shù)參數(shù)
文檔與圖紙

內(nèi)部表面光潔度為 10 Ra 微英寸/0.25 微米
閥膜與閥體之間采用金屬對(duì)金屬密封，提供一流的密封性
內(nèi)部經(jīng)全面電解拋光處理
旨在減少半導(dǎo)體氣體系統(tǒng)中的壓力波動(dòng)
滿足嚴(yán)苛的半導(dǎo)體行業(yè)的使用點(diǎn)和
氣瓶應(yīng)用要求

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